Рейтинг компаний
Рейтинг сайтов
Цены по типам окон
Расчет цены на окна
Расчет прочности окон
Расчет энергоэффективности

Проблемы создания равномерных покрытий на большой площади

Страница 2 из 4

Методами, описанными выше, можно добиться контроля за равномерностью 46% общей толщины пленки покрытия, т.е. для «дабл-лоу-и»-покрытия с общей толщиной слоя 180 нм можно получить менее 10 нм вариации толщины слоя на площади 10-20 м2. Это общее отклонение делится между 5-7 различными слоями, так что два слоя покрытия могут отличаться друг от друга как минимум на 1-2 нм, т. е. на несколько атомных слоев. Это можно измерить оптическим путем, точно так же, как такие изменения по толщине видны на готовом изделии в виде искажения цвета отражения от обоих слоев.


Рис. 2 в. Расстояние между магнитными стержнями и поверхностью мишени можно несколько регулировать в ряде мест по ширине напылителя (вдоль магнитных стержней) вдоль оси центральной поддерживающей трубы (трубы с охлаждающей водой)

Технологическое пространство и контроль однородности
Современные технологии нанесения покрытий разнятся средой и размерами камер процесса, обладают целым комплексом параметров, которые могут влиять на конечную равномерность слоя покрытия. В основном материалы осаждаются на поверхность подложки (стекла) планарными магнетронами постоянного тока (DC) в среде инертного газа (Ar) и сдвоенными поворотными магнетронами со среднечастотным питанием (AC) и реактивным осаждением как с металлической, так и керамической мишени в различных газовых смесях. В таких условиях необходима высокая однородность по ширине осаждаемого слоя (параллельно оси магнетрона) и в направлении к подложке (под катодом). Вдобавок необходимо учитывать неоднородность из-за краевых (кромочных) эффектов, возникающих на границе подложки и осаждающей плазмы, называемых также «рамкой».
Разные аспекты и параметры по- разному влияют на локализацию неоднородности — на малой или большой площади проявления дефектов или отклонения толщины. Таблица 1 показывает степень проявления влияния — на малых или больших площадях — разнородных факторов и параметров.
Если мы посмотрим на эффекты, проявляющиеся на малых или больших изделиях, то мы увидим, что большое проявление по длине дефектов типа «кресты и пятна» можно эффективно контролировать сочетанием управления однородностью магнитного поля и системой подачи газа. Проявлениями неоднородности в малых областях (зонах) также можно управлять. Два примера такого воздействия — вариации вследствие неоднородности магнитного поля (которые можно контролировать регулировкой напряженности и вектора магнитного поля) и «свинцовая дорожка» из-за изменений в накачке при движении стекла в проводящем туннеле между зонами осаждения (ее можно минимизировать отделением процесса накачки от зоны транспортирования стекла настолько далеко, насколько это возможно).
Еще два наиболее заметных эффекта связываются авторами с кромкой («рамкой») на стекле, где отклонения толщины слоя напыления вызваны взаимодействием плазмы с кромкой стекла и эффектом, возникающим при периодичеком повороте мишени и с изменением скорости осаждения.


Рис. 3 а. Местное повышение давление газа-реагента (кислорода) на кромке подложки снижает скорость осаждения SnO2 на напыляемой кромке и снижает диапазон неравномерности покрытия вдоль подложки


Рис. 3 б. Ввод газа-реагента (кислорода) в конце участка распределения газа снижает скорость осаждения SnO2 на напыляемой кромке и снижает диапазон неравномерности покрытия вдоль подложки

Эффект «рамки картинки»
Этот эффект, который давно был известен и технологически преодолен, сейчас опять приобретает актуальность в смысле его устранения из-за частых заказов на напыление готовых изделий («резаные размеры»), т.е., когда всякий раз идет заготовка разных размеров и неплотного расположения. Он часто возникает из-за флуктуаций магнитного поля, возникающих при внесении в него немагнитного материала (появление/сход листа стекла) и конечного быстродействия блока питания AC-источника по нормализации параметров магнитного поля. Рис. 4 показывает, что доминирует в этом случае фактор неравновесности в плазме во время изменений параметров намагниченности (неоднородный субстрат, подложка с разрывом), что проявляется больше для напылителей с питанием переменным током (неравномерность слоя напыления достигает при этом 50-100 нм).

Предыдущая 1 2 3 4 Следующая

Технология отрасли
Производство тепловой и электрической энергии из древесных отходов на лесозаготовительных предприятиях
Технология отрасли
Рециркуляционная аспирация в деревообработке<br>Практические рекомендации и расчет
Технология отрасли
Размеры досок, выпиливаемых параллельно продольной оси бревен
Комментарии
Loading
E-Mail:
следить за ответами
Окна
Металлопластиковые окна
Алюминиевые окна
Деревянные окна
Стеклопакеты
Услуги
Ремонт окон
Монтаж пластиковых окон
Утепление фасадов
Устройство откосов
Аксессуары
Подоконники
Москитные сетки
Отливы
Вертикальные шторы-жалюзи
Двери
Входные двери
Межкомнатные двери
Противопожарные двери
Автоматические двери
Фасады
Светопрозрачные фасады
Зимние сады
Алюминиевые фасады
Навесные фасады
Системы (бренды)
Профили
Фурнитура
Оборудование
Стекло и заполнение
Армирующие профили
Уплотнители
Крепеж
Программное обеспечение
Энергоэффективность
Калькулятор энергоэффективности окон
Подбор окон по энергоэффективности
Статьи об энергоэффективности
Калькулятор окон
Расчет стоимости окон
Расчет ветровых нагрузок на окна
Расчет энергоэффективности
Библиотека
Объявления
Тендеры
Рейтинг, Рейтинг сайтов
Акции и скидки
Видео
Выставки
Карты
Новости
Объекты
Профильные системы
© 2018 OKNA.ua, ООО «Экодар». Все права защищены. Пользовательское соглашение
Карта сайта okna.ua