Проблемы создания равномерных покрытий на большой площади

Страница 3 из 4

Рис. 4. Расширение кромочного эффекта на напыленной пленке SnO2 (подложка из двух листов шириной 1 м, разделенных расстоянием 150 мм, напыление — двумя поворотными катодами, питание 50 кВт постоянным током (DC) или среднечастотное (AC))

Чтобы изучить и снизить взаимодействие между плазмой и подложкой, были проведены эксперименты, в которых первоначальное расстояние между источником и подложкой менялось от номинального (76 мм) до 120 и 200 мм. Были получены значимые результаты (рис. 5).
Хотя кромочные эффекты уменьшаются по мере увеличения расстояния между источником и подложкой, существует особое расстояние: примерно при 125 мм очень увеличивается степень осаждения на стенки камеры, что приводит к увеличению брака и некондиции, а также снижает скорость осаждения.

Рис. 5. Снижение кромочных дефектов напыления SnO2 при питании переменным током путем увеличения расстояния между источником и подложкой

Метод борьбы с неравномерностью осаждения на кромку — увеличение подачи газа-реагента снизу подложки. Таким образом, газ-реагент обдувает стекло снизу и проникает по краям листов и между резаными заготовками, его концентрация в кромочной зоне выше, тем самым замедляется процесс осаждения на кромку, его скорость выравнивается со скоростью процесса в средней части листа подложки. Рис. 6 показывает устройство такого напылителя с подачей газа-реагента снизу.

Камера с шириной W со сдвоенным поворотным магнетроном (R), проемом (окном) для напыления (O) на стеклянный лист (P). Технологическая газовая смесь (инертный газ и окислитель) вводится через стандартные сегментные газоподводы (G). Дополнительный поток газа-реагента (A) вводится снизу транспортера под листом стекла через регулятор массового расхода газа (M).
Рис. 6. Схематический разрез для пояснения принципа ввода газа-реагента снизу подложки

Например, взяв лист стекла размерами 1 X 1 м, при неоптимизированной подаче газа получим, что на 6% меньше напыления попадет в центр подложки, основная масса — на края листа (рис. 7). Оптимизация потока газа позволяет добиться 2% неравномерности покрытия (рис. 8). Метод подачи газа-реагента снизу позволяет нивелировать несимметричность как расположения, так и формы стеклянной подложки.


Рис 7 а. Неравномерность осаждения SnO2 при 60 кВт частотного питания на трех листовых заготовках размером 0,5 х 0,7 м после ввода 250 см3/с потока O2 снизу листов снизилась до уровня ?d ± 2% для каждого из обрабатываемых листов. Средняя скорость осаждения — 95 нм·м /мин

Эффекты вращения мишени
В сдвоенном поворотном магнетроне можно оптимизировать напряженность магнитного поля. Однако эта возможность предполагает наличие идеальной цилиндрической поверхности трубы, которая концентрично вращается вокруг магнитного стержня, и нет колебаний напряженности магнитного поля при ее вращении. Как нет идеальных производственных процессов, так и к нецилиндричности изготовления мишени дополнительно прибавляется неравномерность напряженности магнитного поля вследствие изменений размеров мишени при напылении, к тому же еще и периодично скорости вращения.
Эксперименты подтверждают корреляцию неравномерности с дефектами изготовления, износом и неравномерным вращением. У сдвоенного магнетрона эффект для каждой трубы также разнится. То есть никогда не получить точной синусоидальной неравномерности напыления, хотя есть четкая корреляция дефектов со скоростью переноса стекла и вращением катодных труб.

Предыдущая 1 2 3 4 Следующая

Технология отрасли
Производство тепловой и электрической энергии из древесных отходов на лесозаготовительных предприятиях
Технология отрасли
Рециркуляционная аспирация в деревообработке<br>Практические рекомендации и расчет
Технология отрасли
Размеры досок, выпиливаемых параллельно продольной оси бревен
Комментарии
Loading
E-Mail:
следить за ответами
Окна
Металлопластиковые окна
Алюминиевые окна
Деревянные окна
Стеклопакеты
Услуги
Ремонт окон
Монтаж пластиковых окон
Утепление фасадов
Устройство откосов
Аксессуары
Подоконники
Москитные сетки
Отливы
Вертикальные шторы-жалюзи
Двери
Входные двери
Межкомнатные двери
Противопожарные двери
Автоматические двери
Фасады
Светопрозрачные фасады
Зимние сады
Алюминиевые фасады
Навесные фасады
Профили
Фурнитура
Оборудование
Стекло и заполнение
Армирующие профили
Уплотнители
Крепеж
Программное обеспечение
Энергоэффективность
Калькулятор энергоэффективности окон
Подбор окон по энергоэффективности
Статьи об энергоэффективности
Калькулятор окон
Расчет стоимости окон
Расчет ветровых нагрузок на окна
Расчет энергоэффективности
Библиотека
Объявления
Тендеры
Добавить компанию
Объявить тендер
Рейтинг, Рейтинг сайтов
Акции и скидки
Видео
Выставки
Карты
Новости
Объекты
Профильные системы
© 2018 OKNA.ua, ООО «Экодар». Все права защищены. Пользовательское соглашение
Карта сайта okna.ua