Проблемы создания равномерных покрытий на большой площади

Страница 1 из 4
1015

«Нанопроизводство» сейчас видится ключом к созданию инновационных изделий для широкого ряда отраслей промышленности — от фармацевтики до индустрии полупроводников. В общем, термин «нанопроизводство» можно применить к любому производству материалов, где контроль единичного размера порядка 100 нм или менее необходим для достижения желаемых характеристик изделия.

Немного истории
Солнцезащитные покрытия, применявшиеся ранее, имели толщину пленки порядка 25-80 нм одним или двумя слоями на подложку и использовались исключительно лишь для снижения количества поступающей от солнца энергии. Эти покрытия в целом на 10%-15% различались по толщине вдоль поверхности подложки. Даже в начале 80-х годов это означало, что покрытия получались с расхождением по толщине на 8-12 нм вдоль стекла площадью 8-10 м2.
С появлением однослойной пленки серебряного низкоэмиссионного покрытия «low-e» (середина 80-х) появились многослойные покрытия с четырьмя и более слоями общей толщиной до 100 нм, но толщина единичного слоя иногда требовалась не более 2-10 нм. Эти пленки занимали не более 10% общей толщины покрытия и попадали в область «неуверенного» контроля толщины. Спектрально избирательные «сдвоенные «low-e»» («дабл-лоу-и») или низкоэмиссионные пленки (с двумя слоями серебра) достигали общей толщины 180 нм для 7...10 различных слоев, некоторые слои также имели толщину 2-10 нм, но уже требовался контроль по толщине всего 4%.
В прошлом году разные производители объявили о выпуске сверх спектрально избирательного «строенного «low-e»» покрытия («трипл-лоу-и»). Оборудование следующего поколения должно уметь контролировать отклонения по толщине всего в 2% слоя и даже точнее.
Знаменитый метод регулировки и достижения равномерности («униформности»), который устанавливал зависимость между толщиной покрытия и равномерностью (однородностью) магнитного поля планарного магнетрона вдоль обрабатываемой длины покрываемой поверхности, позволял добиться необходимых показателей благодаря индивидуальной настройке поля отдельных магнитов или подстройкой поля введением дополнительных материалов, выравнивающих суммарное поле на достаточно большой площади.


Рис. 1. Демонстрация регулирования однородности слоя покрытия SnO2 применением прокладочных шайб разной толщины

Бoльшую, чем уже достигнутая точность выравнивания поля, получить крайне тяжело. Самые современные магнитные установки обладают присущей неравномерностью поля 1,5% у отдельного магнетрона. Локальная напряженность магнитного поля оптимизируется дистанционными прокладками за счет изменения расстояния между сегментами на 0,25 мм или менее (см. рис. 1). Однако лучшее регулирование достигается на поворотном магнетроне (рис. 2 а, б, в).


Рис. 2 а. Сдвоенный поворотный магнетрон на расстоянии 127 мм от подложки. Эффективность осаждения резко падает на краях стекла

 


Рис. 2 б. Отдельные магнитные стержни различаются по создаваемой ими напряженности магнитного поля на ±1,5%. Достижимый суммарный допуск на размещение стержней магнитов находится в пределах ±1 м
м

Дальнейшее «выглаживание» магнитного поля по ширине над подложкой связано со значительными трудностями, тем не менее, данные моделирования и экспериментов подтверждают возможность конструирования магнетронов и оптимизации вариаций толщины осаждаемого слоя при минимальном осаждении на кромку стекла.
В процессе контроля осаждения таких немагнитных материалов, как SnO2, ZnO и SiN4, применяют метод изменения соотношения между инертным газом (обычно аргоном) к газу-реагенту (обычно кислороду или азоту). Т. е., меняя соотношение газов (инертного и реагента) в определенной зоне над поверхностью, можно регулировать степень осаждения (скорость осаждения) тем самым выравнивать однородность вдоль подложки. Рис. 3 показывает возможность такой регулировки путем изменения количества реагента, поступающего в разные отделы системы газораспределения.

1 2 3 4 Следующая

Производство тепловой и электрической энергии из древесных отходов на лесозаготовительных предприятиях
Технология отрасли
Рециркуляционная аспирация в деревообработке<br>Практические рекомендации и расчет
Технология отрасли
Размеры досок, выпиливаемых параллельно продольной оси бревен
Технология отрасли
Комментарии
E-Mail:
следить за ответами
Окна
Металлопластиковые окна
Алюминиевые окна
Деревянные окна
Стеклопакеты
Услуги
Ремонт окон
Утепление фасадов
Монтаж пластиковых окон
Устройство откосов
Аксессуары
Подоконники
Москитные сетки
Отливы
Вертикальные шторы-жалюзи
Двери
Входные двери
Межкомнатные двери
Противопожарные двери
Автоматические двери
Фасады
Светопрозрачные фасады
Зимние сады
Алюминиевые фасады
Навесные фасады
Системы (бренды)
Профили
Фурнитура
Оборудование
Стекло и заполнение
Армирующие профили
Уплотнители
Крепеж
Программное обеспечение
Энергоэффективность
Калькулятор энергоэффективности окон
Подбор окон по энергоэффективности
Статьи об энергоэффективности
Калькулятор окон
Расчет стоимости окон
Расчет ветровых нагрузок на окна
Расчет энергоэффективности
Добавить компанию
Объявить тендер
Рейтинг, Рейтинг сайтов
Акции и скидки
Видео
Выставки
Карты
Новости
Объекты
Профильные системы
© 2016 OKNA.ua, ООО «Экодар». Все права защищены. Пользовательское соглашение
Карта сайта okna.ua