Повышение характеристик вакуумных напылителей при модернизации оборудования

Страница 2 из 4

  

  Регулируемая магнитная система
Вслед за возможностью точной регулировки подачи газа, регулировка напряженности магнитного поля — весьма распространенный и эффективный способ регулировать толщину осаждаемого слоя для получения желаемого уровня однородности покрытия. Регулировка толщины осаждаемого слоя есть результат совместной оптимизации параметров местной напряженности магнитного поля непосредственно у поверхности мишени, что меняет скорость осаждения.
Различные регулировочные устройства по длине магнитного стержня «делят» его на участки, которыми можно отдельно подстраивать расстояние от магнита до мишени и регулировать напряженность магнитного поля на поверхности мишени для получения однородности толщины покрытия вплоть до ±10%.
Хотя использование мишеней в цилиндрических магнетронах существенно выше, чем у планарных магнетронов, несколько процентов можно или потерять, или получить только за счет оптимизации параметров магнитного поля на концах трубчатой мишени. Мишень в установках переменного тока используется до 75% (более высокие показатели достижимы лишь для процесса напыления при питании постоянным током).

  

  Система газораспределения
С повышением характеристик изделий требования по однородности толщины покрытий становятся все строже, и их нынешняя стандартная величина находится в пределах всего нескольких процентов при ширине заготовки около 3 м.
Фирма Bekaert поставляет компактный, удобный в эксплуатации, быстродействующий и легкий в установке комплект для системы газораспределения. Газовый коллектор позволяет изменять состав газов в определенных участках над заготовкой с целью общего выравнивания скорости осаждения. Одна или две главные газовые трубы и от трех до семи отводов обеспечивают плавную настройку параметров газового потока как в целом, так и на отдельных участках (в зависимости от напыляемого размера, формы конечного изделия и спецификации заказчика).
В отличие от раздельных газовых подводов концепция подводов типа «душевая головка» обеспечивает удивительно гомогенное газораспределение по мишени (или по отдельным частям мишени). К тому же, это может быть полностью сбалансированная сдвоенная система (которая может быть установлена на крышке катода по обеим сторонам мишени или внутри напылителя) или одинарная система (которая может быть установлена на катодной крышке и подавать газ между катодами или в другом месте напылителя).

  

  Катоды со встроенными вакуумными насосами
Предлагаемые модули осаждения со встроенными вакуумными насосами на концевых крышках катодов обеспечивают более высокое качество покрытия чем обычно, независимость от геометрии и конфигурации напылителя и насосов в которых размещен блок напылителя. Технология нанесения покрытий может быть отработана на уровне особенностей самого блока напылителя и может быть легко перенесена на такой же другой или другие металлизаторы. Имеется доступ и возможность управления всеми значимыми параметрами процесса напыления внутри блока напылителя: газораспределение (вакуумными насосами и регулировкой в подводящем газовом коллекторе), плотностью потока частиц-реагентов (регулировкой магнитных и электрических параметров переноса). Все эти подсистемы входят в сам блок напылителя и могут быть подрегулированы между собой для оптимального функционирования процесса осаждения.
Предыдущая 1 2 3 4 Следующая

Цветное стекло в архитектуре: средство омоложения зданий
Наука и технология
Характерные недостатки конструкторско-технологических решений по оконным системам: точка зрения судового эксперта
Наука и технология
Обоснование размеров межоперационных запасов сырья перед головным станком лесообрабатывающего цеха
Наука и технология
Комментарии
E-Mail:
следить за ответами
Окна
Металлопластиковые окна
Алюминиевые окна
Деревянные окна
Стеклопакеты
Услуги
Ремонт окон
Утепление фасадов
Монтаж пластиковых окон
Устройство откосов
Аксессуары
Подоконники
Москитные сетки
Отливы
Вертикальные шторы-жалюзи
Двери
Входные двери
Межкомнатные двери
Противопожарные двери
Автоматические двери
Фасады
Светопрозрачные фасады
Зимние сады
Алюминиевые фасады
Навесные фасады
Системы (бренды)
Профили
Фурнитура
Оборудование
Стекло и заполнение
Армирующие профили
Уплотнители
Крепеж
Программное обеспечение
Энергоэффективность
Калькулятор энергоэффективности окон
Подбор окон по энергоэффективности
Статьи об энергоэффективности
Калькулятор окон
Расчет стоимости окон
Расчет ветровых нагрузок на окна
Расчет энергоэффективности
Добавить компанию
Объявить тендер
Рейтинг, Рейтинг сайтов
Акции и скидки
Видео
Выставки
Карты
Новости
Объекты
Профильные системы
© 2016 OKNA.ua, ООО «Экодар». Все права защищены. Пользовательское соглашение
Карта сайта okna.ua