За последние несколько десятилетий технология вакуумных
покрытий напылением стала занимать ведущие позиции среди методов нанесения
тонкопленочных покрытий. Ключевые преимущества этой методики кроются
в достаточно легкой масштабируемости (повышение производительности
и увеличение размеров изделий), хорошем контроле всех параметров слоев
и в разнообразии напыляемых материалов.
Стаття доступна російською мовою — Повышение характеристик вакуумных напылителей при модернизации оборудования
Перейти на сторінку
Повышение характеристик вакуумных напылителей при модернизации оборудования